光刻機概念27日盤中發力走高，截至發稿，華融化學、芯碁微裝20%漲停，佳先股份漲超17%，飛凱材料漲超14%，紅寶麗、江化微等漲停，廣信材料漲逾7%。

中信證券指出，光刻機作為半導體制造過程中價值量和技術壁壘最高的設備之一，2024年全球市場規模超230億美元（SEMI數據），其中ASML處于絕對領先；2024年國內市場規模超400億元（SEMI數據），但是跟據我們測算國產化率僅2.5%。目前半導體制造工藝節點縮小至5nm及以下，曝光波長逐漸縮短至13.5nm，光刻技術逐步完善成熟，但是國內光刻機仍明顯落后于海外。同時，美國對中國先進制程設備和技術圍追堵截，光刻機處于核心“卡脖子”狀態。不論當前國內光刻機實際進展如何，國產高端光刻機的發展有望持續獲得推動，國產光刻機及產業鏈將同步受益，市場信心將持續增強。

該機構表示，國內對于光刻機產業鏈的投資和支持力度持續加大，國產高端光刻機的發展有望獲得推動，半導體設備產業鏈將有望同步受益。未來若DUV及EUV設備逐步實現國產化突破，國內先進制程產線有能力逐步實現國產替代，有望迎來新一輪的半導體擴產周期。建議關注受到光刻機“卡脖子”問題影響的半導體制造、設備、零部件自主化替代的相關公司，尤其是光刻工藝相關的設備和零部件廠商。此外，受益于國產光刻機突破，我們認為未來國內先進制程擴產有望加速。

校對：陶謙